从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上？
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从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上？

A.靶放在面积小的电极上

B.靶放在面积大的电极上

C.衬底放在面积大的电极上

D.衬底放在面积小的电极上

正确答案：靶放在面积小的电极上；衬底放在面积大的电极上

Tag：微电子工艺 电极 衬底 时间：2022-03-02 17:03:10

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