扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸，这是（）效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。
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扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸，这是（）效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。

A.大，横向扩散

B.小，横向扩散

C.大，场助扩散

D.大，氧化增强

正确答案：大，横向扩散

Tag：微电子工艺 横向 集成度 时间：2022-03-02 17:03:02

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