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外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长（）薄膜。
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外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长（）薄膜。
正确答案：晶体
Tag：
微电子工艺
晶体
衬底
时间：2022-03-02 17:02:58
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如果外延速率偏低，只要增大外延气体中硅源（如SiCl4）浓度，硅的气相外延速率就会增加。
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