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拉单晶的干锅污染主要是由于坩埚材料分解出的（）造成。
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拉单晶的干锅污染主要是由于坩埚材料分解出的（）造成。
正确答案：氧
Tag：
微电子工艺
坩埚
分解
时间：2022-03-02 17:02:56
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在空间微重力室用CZ法也能拉制出大尺寸优质晶锭
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