磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:


磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:

A.轴向均匀

B.轴向递减

C.轴向递増

D.径向递减

正确答案:轴向递减


Tag:微电子工艺 电阻率 晶体 时间:2022-03-02 17:02:55