关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确?


关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确?

A.可以多次缩颈

B.为了能拉出与籽晶相同的硅锭

C.为了终止籽晶中的线缺陷向晶锭的延伸

D.为了终止与籽晶结合处的缺陷向晶锭的延伸

正确答案:可以多次缩颈;为了终止籽晶中的线缺陷向晶锭的延伸;为了终止与籽晶结合处的缺陷向晶锭的延伸


Tag:微电子工艺 缺陷 拉出 时间:2022-03-02 17:02:55