锑在硅中的最大固溶度只有5*10的19次方原子/cm3，但某芯片埋层掺杂要求掺入锑最大浓度应达5*10的20次方原子/cm3，因此，采用（）掺杂。_精华吧

锑在硅中的最大固溶度只有510的19次方原子/cm3，但某芯片埋层掺杂要求掺入锑最大浓度应达510的20次方原子/cm3，因此，采用（）掺杂。

精华吧→答案→慕课→未分类

锑在硅中的最大固溶度只有5*10的19次方原子/cm3，但某芯片埋层掺杂要求掺入锑最大浓度应达5*10的20次方原子/cm3，因此，采用（）掺杂。

正确答案：离子注入

Tag：微电子工艺次方原子时间：2022-03-02 17:03:07

相关答案

热门答案