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外延生长是一种生长硅单晶薄膜的方法，衬底材料中使用蒸发速率比较小的掺杂元素可以抑制自掺杂，比如Sb。
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外延生长是一种生长硅单晶薄膜的方法，衬底材料中使用蒸发速率比较小的掺杂元素可以抑制自掺杂，比如Sb。
A.正确
B.错误
正确答案：正确
Tag：
半导体材料
生长
衬底
时间：2022-02-17 21:10:52
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以下对于非晶硅薄膜描述错误的是（）
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硅的同质外延生长的原理是用氢气还原硅的氯化物。
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