光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作？
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光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作？

A.打底膜、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶

B.打底膜、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶

C.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶

D.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶、刻蚀

正确答案：打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶

Tag：微电子工艺 涂胶 打底 时间：2022-03-02 17:03:11

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