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化学气相沉积法的反应原料是气体，反应物是固体，副产物也可以是固体
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化学气相沉积法的反应原料是气体，反应物是固体，副产物也可以是固体
A.正确
B.错误
正确答案：B
Tag：
半导体技术导论
固体
反应物
时间：2021-10-02 21:22:31
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以下哪种不属于化学气相沉积法
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化学气相沉积法和物理气相沉积法最主要的区别在于前者需要在真空环境下进行。
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