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以下哪种不属于化学气相沉积法
PECVD
DPCVD
MOCVD
LPCVD
正确答案：DPCVD
Tag：
半导体技术导论
化学
时间：2021-10-02 21:22:30
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以下哪种材料无法通过分子束外延生长法制备？
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化学气相沉积法的反应原料是气体，反应物是固体，副产物也可以是固体
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