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以下哪种材料无法通过分子束外延生长法制备？
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以下哪种材料无法通过分子束外延生长法制备？
Si
GaAs
IGZO
GaN
正确答案：IGZO
Tag：
半导体技术导论
外延
法制
时间：2021-10-02 21:22:29
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通过扩散方式掺杂对杂质浓度和掺杂深度的控制精度比通过离子注入的方式掺杂要高。
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