在VLSI设计中,对互连线的要求和可能的互连线材料是什么?


在VLSI设计中,对互连线的要求和可能的互连线材料是什么?

正确答案:互连线的要求

低电阻值:产生的电压降最小;信号传输延时最小(RC时间常数最小化)与器件之间的接触电阻低长期可靠工作可能的互连线材料金属(低电阻率),多晶硅(中等电阻率),高掺杂区的硅(注入或扩散)(中等电阻率)


Tag:电阻率 线材 最小 时间:2024-03-18 21:58:14