假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
正确答案:(1)如果这次预淀积进行了总共t分钟,若预淀积温度不变,引入3Qcm-2的杂质需要多长时间?(2)预淀积后再进行推进扩散,要求推进的杂质足够深,使得最后表面杂质浓度等于其固溶度Cs的1%。若已知预淀积过程中的(Dt)predop,推导出推进扩散过程中(Dt)drive-in的表达式。
假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
正确答案:(1)如果这次预淀积进行了总共t分钟,若预淀积温度不变,引入3Qcm-2的杂质需要多长时间?(2)预淀积后再进行推进扩散,要求推进的杂质足够深,使得最后表面杂质浓度等于其固溶度Cs的1%。若已知预淀积过程中的(Dt)predop,推导出推进扩散过程中(Dt)drive-in的表达式。
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