二氧化硅的制备方法很多,其中最常用的是高温()、()淀积、PECVD淀积。


二氧化硅的制备方法很多,其中最常用的是高温()、()淀积、PECVD淀积。

正确答案:氧化;气相


Tag:高温 时间:2024-12-17 16:11:18