关于溅射过程，下列说法不正确的是（）
关于溅射过程，下列说法不正确的是（）
A、溅射一般使用Ar+离子轰击靶材，通过撞击，从表面撞出一个或多个原子
B、Ar被用作溅射离子的原因是它是活性气体，可以和靶材料发生化学反应
C、用一个高能电子轰击中性的Ar原子，碰撞出外层电子，产生带正电的Ar+离子
D、被撞击出的单个或多个原子到达晶圆表面，形成薄膜
正确答案：Ar被用作溅射离子的原因是它是活性气体，可以和靶材料发生化学反应
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