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平坦化时，先填充一层牺牲材料，再进行高处刻蚀的方法是：
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平坦化时，先填充一层牺牲材料，再进行高处刻蚀的方法是：
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.CMP
正确答案：A
Tag：
高温
牺牲
玻璃
时间：2023-02-25 15:16:56
上一篇：
将介电材料溶解于有机溶剂中，以旋涂的方式涂抹在晶片表面，利用流态介电材料有很好的台阶填充能力，使晶片获得平坦化的技术是：
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