将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:


将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:

A.反刻

B.高温回流

C.旋涂玻璃法

D.化学机械抛光

正确答案:A


Tag:晶片 材料 台阶 时间:2023-02-25 15:16:55