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热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。
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热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。
正确答案：含有硅的化合物
Tag：
化合物
分解
表面
时间：2024-12-17 16:19:05
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