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光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。
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光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。
正确答案：前烘；显影；去胶
Tag：
光刻
涂胶
步骤
时间：2024-12-17 16:15:39
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