简述你所在工艺的工艺质量要求?你如何检查你的工艺质量?
简述你所在工艺的工艺质量要求?你如何检查你的工艺质量?
正确答案:外延要求:1.集电极击穿电压要求
集电极串联电阻要小。
高频大功率小型化。
刻蚀要求:1.图形转换的保真度高
选择比高。
刻蚀速率高。
刻蚀剖面。
刻蚀偏差。
刻蚀因子大。
均匀性。
简述你所在工艺的工艺质量要求?你如何检查你的工艺质量?
正确答案:外延要求:1.集电极击穿电压要求
集电极串联电阻要小。
高频大功率小型化。
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刻蚀因子大。
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