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有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？
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有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？
正确答案：常压化学气相淀积（APCVD），
低压化学气相淀积（LPCVD），
等离子体辅助CVD。
Tag：
化学
等离子体
薄膜
时间：2024-12-17 16:12:00
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