下列细微加工技术中,()属于反应加工(即体积不变)。


下列细微加工技术中,()属于反应加工(即体积不变)。

A.高速微粒子加工

B.溅射加工

C.蚀刻技术(光、电子束)

D.电镀

正确答案:C