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刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（）。
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刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（）。
A、掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性
B、刻蚀的方向性
C、掩膜的抗刻蚀比
正确答案：A
Tag：
方向性
图形
参数
时间：2024-09-16 15:04:58
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光刻工艺的基本要素主要包括（）。
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