电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应,是一种化学加工。


电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应,是一种化学加工。

A.正确

B.错误

正确答案:A


Tag:电子束 光刻 化学反应 时间:2024-06-12 10:46:55