将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触,再用紫外光照射来进行曝光的方法,称为()曝光。


将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触,再用紫外光照射来进行曝光的方法,称为()曝光。

A、接近式

B、接触式

C、反射式

D、投影式

正确答案:接触式


Tag:晶片 表面 方法 时间:2024-05-24 20:23:17

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