封装在真空室内的(),由于一侧受进气压力的作用,另一侧是真空,所以在进气歧管压力发生变化时,()产生变形,使扩散在()上的应变电阻的阻值改变,利用惠斯顿电桥将硅膜片的变形变成电信号,导致输出电压发生变化。
封装在真空室内的(),由于一侧受进气压力的作用,另一侧是真空,所以在进气歧管压力发生变化时,()产生变形,使扩散在()上的应变电阻的阻值改变,利用惠斯顿电桥将硅膜片的变形变成电信号,导致输出电压发生变化。
A、硅片
B、热线电阻
C、涡旋气流
D、熱膜电阻
正确答案:硅片
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