关于特征尺寸说法不正确的是（）。
A、光刻机对应的光源波长
B、衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度
C、一般指场效应管的栅长，或沟道长度
D、常见的特征尺寸有45nm，28nm，22nm，14nm等
正确答案：光刻机对应的光源波长
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