（）的作用是提高电子束的能量密度，使电子束聚焦成很小的束斑，它基本上决定着加工点的孔径或缝宽。
A、束流位置控制
B、真空系统
C、电子枪
D、束流聚焦控制
正确答案：束流聚焦控制
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