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微传感器
正确答案：是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。
Tag：
电气工程及其自动化
检测技术及应用
半导体
时间：2024-02-03 15:18:49
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压电效应
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