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溅射镀膜的工作区域（）
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溅射镀膜的工作区域（）
A.无光放电区
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C.异常辉光放电区
D.汤森放电区
正确答案：异常辉光放电区
Tag：
材料工程基础
辉光
无光
时间：2024-01-07 21:02:07
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利用高能粒子高速撞击靶材，使大量的靶材表面原子获得相当高的能量而脱离靶材的束缚飞向衬底，沉积成膜，这种制膜方法称为溅射镀膜。
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以下哪种不属于物理成膜方法？
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