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采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
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采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
A.正确
B.错误
正确答案：正确
Tag：
光电检测技术与系统
麻点
偏振
时间：2024-01-04 19:41:25
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关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）。
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激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
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