目前最为成熟的多晶硅提纯工艺是西门子法，它又称（）。
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目前最为成熟的多晶硅提纯工艺是西门子法，它又称（）。

A.四氯化硅锌还原法

B.三氯氢硅氢还原法

C.硅烷热分解法

D.四氯化硅氢还原法

正确答案：A

Tag：还原法 硅烷 解法 时间：2023-03-04 13:55:17

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