以下对于直拉生长描述错误的是()


以下对于直拉生长描述错误的是()

A.重装料CZ法可以连续拉晶3-4根,但是有坩埚破裂的风险

B.连续直拉法可以在晶体生长过程中使熔体的液面保持恒定

C.连续直拉法拉出的硅晶体含氧和碳杂质均浓度低,晶体质量高

D.连续直拉法制备出的硅晶体电阻率相对比较均匀,但是掺镓除外

正确答案:连续直拉法拉出的硅晶体含氧和碳杂质均浓度低,晶体质量高


Tag:半导体材料 晶体 拉出 时间:2022-02-17 21:10:41